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記者｜張喬遇

半導(dǎo)體前道設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程一直備受關(guān)注。截至2023年末，前道量檢測(cè)設(shè)備的國(guó)內(nèi)企業(yè)市場(chǎng)份額約為5%，在主要半導(dǎo)體前道設(shè)備里，僅高于光刻機(jī)的國(guó)產(chǎn)化程度。無(wú)錫卓海科技股份有限公司（簡(jiǎn)稱：卓?？萍迹?/span>作為行業(yè)參與者，正試圖在這樣的市場(chǎng)環(huán)境中突圍。

近日，二手設(shè)備修復(fù)廠商卓?？萍?/span>創(chuàng)業(yè)板上市被否后，又將目光瞄準(zhǔn)北交所。

此前深交所對(duì)于卓?？萍缄J關(guān)創(chuàng)業(yè)板IPO所需要具備的技術(shù)先進(jìn)性及創(chuàng)新性持懷疑態(tài)度，多次要求公司說(shuō)明自身業(yè)務(wù)是否符合創(chuàng)業(yè)板定位。最終卓?？萍?/span>以不符合發(fā)行條件、上市條件或信息披露要求上會(huì)被否，該次IPO歷時(shí)半年。

前次IPO終止后的兩年時(shí)間里，卓?？萍紭I(yè)務(wù)發(fā)展迅速，營(yíng)業(yè)收入年復(fù)合增長(zhǎng)率達(dá)21.70%，且自研設(shè)備應(yīng)力測(cè)量設(shè)備、方塊電阻設(shè)備、反射光譜厚膜測(cè)量?jī)x等3款產(chǎn)品已實(shí)現(xiàn)商業(yè)化。界面新聞注意到，卓?？萍荚谶@期間大量申請(qǐng)專利超30項(xiàng)，此次闖關(guān)北交所，其自研設(shè)備的收入占比有所增長(zhǎng)，但超過(guò)90%收入仍依靠修復(fù)設(shè)備貢獻(xiàn)。

目前公司自研設(shè)備仍采用委外生產(chǎn)模式。卓?？萍紡亩衷O(shè)備修復(fù)邁向自研設(shè)備自主生產(chǎn)，仍面臨諸多挑戰(zhàn)。

同樣募投項(xiàng)目計(jì)劃融資額大增

此次IPO，在律師事務(wù)所與會(huì)計(jì)師事務(wù)所維持不變的情況下，卓?？萍紝⒈Ｋ]機(jī)構(gòu)從光大證券更換為海通證券。除此之外，公司募資額也較前次出現(xiàn)了大漲。

闖關(guān)創(chuàng)業(yè)板時(shí)，卓?？萍?/span>計(jì)劃募集資金5.47億元，投資項(xiàng)目分別為半導(dǎo)體前道量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目、研發(fā)中心建設(shè)項(xiàng)目和補(bǔ)充流動(dòng)資金。本次闖關(guān)北交所投資項(xiàng)目不變，但募集資金金額增至7.00億元，對(duì)應(yīng)半導(dǎo)體前道量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目、研發(fā)中心建設(shè)項(xiàng)目、補(bǔ)充流動(dòng)資金募集資金同比分別增加92.72%、9.39%和15.08%。

半導(dǎo)體前道量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目實(shí)施期均為3年，但卓?？萍?/span>并未對(duì)募投資金大幅增加的原因作出解釋。

值得注意的是，半導(dǎo)體前道量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目投資概算中，人工費(fèi)用未有太大變化，設(shè)備購(gòu)置費(fèi)從642萬(wàn)元增加至2070萬(wàn)元，建筑工程費(fèi)中新增7470萬(wàn)元毛坯建設(shè)，此外還提到了一筆土地購(gòu)置費(fèi)1120萬(wàn)元。卓?？萍贾赋?，本項(xiàng)目預(yù)計(jì)稅后項(xiàng)目投資內(nèi)部收益率為15.69%，稅后投資回收期為6.02年。

研發(fā)中心建設(shè)項(xiàng)目的具體投資也有所改變，前次IPO更多的重點(diǎn)放在設(shè)備購(gòu)置上，擬募集1.38億元用于設(shè)備購(gòu)置，本次研發(fā)中心建設(shè)項(xiàng)目減少至3280萬(wàn)元，主要購(gòu)置用于高精度暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)設(shè)備、高精度顆粒檢測(cè)設(shè)備等，而高達(dá)1.63億元用于研發(fā)費(fèi)用。卓?？萍紝⑹褂梦挥跓o(wú)錫市新吳區(qū)的22.4畝土地作為研發(fā)中心建設(shè)項(xiàng)目用地。

去年毛利率大降

成立初期，卓?？萍贾饕獜氖掳雽?dǎo)體設(shè)備的技術(shù)服務(wù)及貿(mào)易業(yè)務(wù)。2011年聚焦前道量檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)，并逐步從事前道量檢測(cè)設(shè)備修復(fù)業(yè)務(wù)，2020年開始組建整機(jī)自研團(tuán)隊(duì)。

2022年至2024年，卓海科技的營(yíng)業(yè)收入分別為3.14億元、3.81億元和4.65億元；凈利潤(rùn)分別為1.19億元、1.32億元和1.04億元。

卓海科技報(bào)告期各期均有92%以上收入來(lái)自修復(fù)設(shè)備，自研設(shè)備自2023年創(chuàng)收，2023年、2024年收入分別為509.65萬(wàn)元、1214.96萬(wàn)元，占主營(yíng)業(yè)務(wù)收入不足3%。此外還有部分零部件和技術(shù)服務(wù)收入。

卓?？萍?/span>目前從事的大部分工作系對(duì)退役設(shè)備進(jìn)行功能修復(fù)和精度修復(fù)，使退役設(shè)備完全恢復(fù)至全新出場(chǎng)時(shí)的功能和技術(shù)參數(shù)，供給芯片產(chǎn)線使用。

需要指出的是，卓?？萍?/span>部分型號(hào)修復(fù)設(shè)備在采購(gòu)環(huán)節(jié)，因競(jìng)購(gòu)方較多，采購(gòu)價(jià)格較高。然而，受下游需求影響，設(shè)備銷售價(jià)格并未顯著上漲。受此影響，疊加半導(dǎo)體行業(yè)景氣度等因素作用，前道量檢測(cè)修復(fù)設(shè)備2024年毛利率從上年的61.09%大幅下滑至46.49%，2024年出現(xiàn)增收不增利的情況。

在A股市場(chǎng)中，前道量檢測(cè)設(shè)備廠商主要以中科飛測(cè)（688361.SH）、精測(cè)電子（300567.SZ）控股子公司上海精測(cè)、中微公司（688012.SH）參股子公司睿勵(lì)儀器等企業(yè)為主，但均主要從事前道量檢測(cè)設(shè)備的研發(fā)生產(chǎn)，與卓?？萍疾粚儆谕荒Ｊ剑壳斑€沒(méi)有與卓?？萍纪耆恢碌纳鲜泄?。

關(guān)于創(chuàng)業(yè)板定位及核心技術(shù)是卓?？萍荚?/span>前次IPO時(shí)被重點(diǎn)關(guān)注的問(wèn)題。北交所定位為服務(wù)創(chuàng)新型中小企業(yè)、重點(diǎn)支持先進(jìn)制造業(yè)和現(xiàn)代服務(wù)業(yè)等領(lǐng)域的企業(yè)，推動(dòng)傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)。關(guān)注包括技術(shù)創(chuàng)新或模式創(chuàng)新、研發(fā)投入與科技成果轉(zhuǎn)化等情況。

卓?？萍妓鶑氖碌陌雽?dǎo)體前道量檢測(cè)設(shè)備屬于“過(guò)程控制設(shè)備”，在控制芯片良率、評(píng)判工藝方案優(yōu)劣方面作用顯著。前道量檢測(cè)設(shè)備具有精密度高、結(jié)構(gòu)復(fù)雜、技術(shù)難度大、品類眾多的特點(diǎn)，目前國(guó)內(nèi)的產(chǎn)業(yè)化尚處于起步階段，中國(guó)企業(yè)在前道量檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)所占市場(chǎng)份額處于較低水平，僅5%（約1.76億美元），大量的企業(yè)根據(jù)自身需要依靠境外KLA、AMAT、Hitachi等國(guó)際原廠采購(gòu)和境內(nèi)采購(gòu)修復(fù)設(shè)備滿足需求。

截至2025年2月末，卓?？萍甲匝性O(shè)備在手訂單為2486.05萬(wàn)元，自研業(yè)務(wù)下游客戶涵蓋士蘭微、捷捷微電、比亞迪、格力等。

值得注意的是，對(duì)于自研設(shè)備、核心組件及零部件，卓?？萍忌a(chǎn)均通過(guò)委外加工進(jìn)行，公司主要進(jìn)行設(shè)計(jì)環(huán)節(jié)，形成圖紙、特定參數(shù)等核心技術(shù)方案。

兩年內(nèi)新增的71項(xiàng)專利含金量夠嗎？

根據(jù)此前披露招股書，截至2022年6月30日，卓?？萍脊矒碛?5項(xiàng)專利權(quán)，其中發(fā)明專利8項(xiàng)，其余17項(xiàng)為實(shí)用新型專利，均為原始取得。

北交所發(fā)行上市審核動(dòng)態(tài)第11期已對(duì)擬IPO企業(yè)的創(chuàng)新特征作出多項(xiàng)規(guī)定。北交所指出，在該所申報(bào)發(fā)行上市的企業(yè)，原則上應(yīng)當(dāng)符合三項(xiàng)基本指標(biāo)要求。其中一項(xiàng)要求企業(yè)通過(guò)獨(dú)立或合作研發(fā)形成知識(shí)產(chǎn)權(quán)成果，并將其應(yīng)用于公司主營(yíng)業(yè)務(wù)。

具體而言，通常需擁有3項(xiàng)以上Ⅰ類知識(shí)產(chǎn)權(quán)或52項(xiàng)以上軟件著作權(quán)。截至2024年6月底，249家北交所上市公司平均每家擁有22項(xiàng)發(fā)明專利。

數(shù)據(jù)來(lái)看，在2022年6月30日至2024年末，卓?？萍嫉膶＠麢?quán)數(shù)量大幅攀升至96項(xiàng)。其中，發(fā)明專利增加到44項(xiàng)，實(shí)用新型專利增加到52項(xiàng)。盡管卓?？萍荚缭?009年便已設(shè)立，但其99%以上的專利都是在2019年及之后申請(qǐng)的，最早的一項(xiàng)專利申請(qǐng)是在2018年。

招股書顯示，卓?？萍家丫邆?2英寸規(guī)格、14nm先進(jìn)制程的部分設(shè)備修復(fù)能力，公司秉承“修研并舉，雙線發(fā)展”的發(fā)展模式。根據(jù)此前披露問(wèn)詢函，卓?？萍己诵募夹g(shù)主要是設(shè)備修復(fù)的技術(shù)提升，更多來(lái)自日常生產(chǎn)過(guò)程中經(jīng)驗(yàn)和修復(fù)技術(shù)的持續(xù)積累。生產(chǎn)過(guò)程主要包括對(duì)退役設(shè)備的故障診斷、功能修復(fù)、精度恢復(fù)、產(chǎn)線適配等，主要系生產(chǎn)人員憑借技術(shù)經(jīng)驗(yàn)，結(jié)合退役設(shè)備各類問(wèn)題的具體顯現(xiàn)表征定位問(wèn)題所在，針對(duì)存在的配件缺失、損壞、老化、功能異常、精度不佳的具體問(wèn)題及產(chǎn)險(xiǎn)適配需求，通過(guò)維修、增加配件、調(diào)試、校準(zhǔn)等方式實(shí)現(xiàn)。

前次IPO之后，卓?？萍忌暾?qǐng)的專利大多與自研設(shè)備相關(guān)，共計(jì)82項(xiàng)，其中發(fā)明專利41項(xiàng)。此外，還形成了18項(xiàng)與自研設(shè)備相關(guān)的軟件著作權(quán)。雖然專利數(shù)量顯著增加，但這些專利是否真正轉(zhuǎn)化為商業(yè)價(jià)值，仍有待考證。

同時(shí)，與之形成鮮明對(duì)比的是，卓?？萍嫉难邪l(fā)投入仍處于較低水平。2022年至2024年，卓?？萍嫉难邪l(fā)費(fèi)用分別為1508.33萬(wàn)元、2842.14萬(wàn)元和3369.13萬(wàn)元，占營(yíng)業(yè)收入的比重分別為4.81%、7.46%和7.25%。

2022年及2023年，中科飛測(cè)的研發(fā)費(fèi)用率分別為40.40%和25.26%；精測(cè)電子的研發(fā)費(fèi)用率分別為21.02%和26.37%。相比之下，卓?？萍嫉难邪l(fā)投入不高，公司稱，自身的研發(fā)方向側(cè)重于修復(fù)技術(shù)的提升，與中科飛測(cè)等以自研設(shè)備為基礎(chǔ)開展的用于支持整機(jī)開發(fā)的業(yè)務(wù)模式有所區(qū)別。